台阶高度测量

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    在许多高科技应用中需要对台阶高度进行准确和可重复测量。Taylor Hobson提供了许多仪器专门设计用于满足台阶高度测量的这些最高要求。台阶高度的覆盖范围在亚纳米至毫米之间,可重复性在0.1纳米以下。

     

    计量

    三维台阶高度
    为表面上两个区域所定义的两个平面提供高度差。第一个区域被定义为参考区域,软件将调整此区域中的最小二乘平面。然后据此测量第二个平面。同时测量的还有平均台阶高度、最大高度和最小高度以及角度差。

    二维台阶高度
    为蚀刻线或矩形区域之类的简单几何形状提供台阶高度测量方法。在边缘暴露的情况下,二维台阶高度还可以用于测量厚度。

    ISO 5436-1 台阶高度
    在尝试对不同测量仪器所做的台阶高度测量进行比较时,按照标准测量方法进行测量非常重要。ISO 5436-1提供了国际公认的台阶高度测量方法。上述仪器均支持此标准。

     

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