MEMS和纳米技术

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    微型机电系统(MEMS)如今用于许多应用领域,其中包括压力和加速度传感器、微晶镜片显示装置和微型流体泵。MEMS装置充分利用集成电路行业所使用的制造技术,来创建诸如齿轮、隔膜和结合梁之类的机械构件。准确测量所有这些构件对于满足低成本高质量的MEMS装置的批量生产要求至关重要。

     

    计量

    粗糙度
    通过准确测量MEMS装置内的粗糙度,可以控制表面的相互作用 - 无论这些相互作用是微型齿轮系统中固体与固体之间的相互作用,还是微型流体泵中固体与液体之间的相互作用。

    台阶高度
    监控MEMS装置的台阶高度是一项重要的性能指标。台阶高度与横向尺寸信息一起可以提供有效的质量近似值,此近似值可影响装置中单个元件的基本振荡频率。

    横向尺寸
    在对微型齿轮和流体系统进行定性时,横向尺寸特别重要。对体积和表面积以及诸如梁宽之类的重要尺寸进行准确测量,有助于控制最终装置的性能。

     

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