Talyrond 595H系列

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    Talyrond 595H的所有轴都经过精密加工,加强了软件自动更正功能,让TR595H拥有了无可比拟的直线度和圆度精确度。调心和调平操作台配有高分辨率电机,进一步加强了精度和全自动设置目标功能。

    该系统配有的Talymin 5传感器测量能力能够达到纳米级别,同时自动横臂机制能够提供无以伦比的多功能化确保能够测量最难以达到的部分。TR595H配置的主动抗振控制托架确保了不受外界环境影响的测量环境,保证测量环境接近生产过程。

    • 全自动轴臂横向和纵向机制
    • 轴臂、立柱和主轴校准自动校准
    • 自动传感器校准
    • 高精度空气轴承主轴精度+/- 0.01 um
    • 传感器分辨率0.3 nm
    • 主动隔震和环境隔离系统
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