CCI HD

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    CCI HD 是一种非接触式光学 3D 轮廓仪,具有测量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有专利的新型关联算法,来查找由我们的精密光学扫描装置产生的干涉图的相干峰和相位。这种新型的 CCI HD 整合了世界领先的非接触式尺寸测量功能和先进的厚薄膜测量技术。

    CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度测量功能,还可以提供两种类型的膜厚测量。 近年来厚膜分析被用于研究厚度至约 1.5 微米的半透明涂料;测量的厚度限制取决于材料的折射率和标的物的 NA。 测量较薄的涂层被证实为难度更高。

    现在通过干涉测量法可以研究厚度至 50 纳米(同样取决于折射率)的薄膜涂层。 采用这种新型方法,可以在单次测量中研究膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷以及薄涂层表面的剥离等特性。

    • 2048 x 2048像素阵列,视场广,高分辨率
    • 全量程0.1埃的分辨率
    • 适用于0.3% - 100%的表面反射率
    • RMS 重复精度<0.2埃,阶跃高度重复精度<0.1%
    • 多语言版本的64位控制和分析软件
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